热式质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电(铂RTD)，一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器加热到环境温度以上的一一个恒定的温度，另-个温度传感器用感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元的热传递量来计算的。气体流速增加，介质带走的热量增多。传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定，则必须增加通过感器的工作电流，此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。